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一种薄膜蒸镀装置 

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申请/专利权人:重庆金美新材料科技有限公司

摘要:本发明公开了一种薄膜蒸镀装置,包括真空腔体,所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板,所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁,还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件,所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件;所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊;所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源。本发明可实现薄膜的两面的镀膜工作,生产效率高,生产成本低,生产时间少,生产场地的占用空间小。

主权项:1.一种薄膜蒸镀装置,包括真空腔体,所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板,所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁,其特征在于,还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件,所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件;所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊,所述第一放卷辊靠近所述第四侧壁,所述第二过辊靠近所述第二侧壁,所述第一过辊位于第一放卷辊的正上方,所述第三过辊位于第二过辊的正上方,第二过辊和第三过辊位于第一放卷辊和第一过辊之间,所述第一收卷辊位于第三过辊的正上方,第一过辊位于第三过辊和第一收卷辊之间;所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源;所述第一辊筒组件包括第一辊筒和第二辊筒,所述第一辊筒、第二辊筒的一端分别设置到所述盖板,另一端分别与所述本体内的底部相对,所述第一辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角对应,所述第二辊筒与所述第一侧壁和第二侧壁之间的拐角对应,所述第一辊筒和第二辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置;所述第一放卷辊、第一过辊的一端分别转动地设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧,另一端分别与所述第一侧壁相对,所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊的一端分别转动地设置到所述第二辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧,另一端分别与所述第一侧壁相对;所述本体内的底部在对应所述第一放卷辊和第二过辊之间的位置设有所述第一下部蒸发源;所述第一上部蒸发源与所述盖板平行,第一上部蒸发源位于所述第一过辊和第三过辊的下方且位于所述第一放卷辊和第二过辊的上方,第一上部蒸发源的一端固定设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧,另一端靠近所述第二辊筒;还包括设置到所述本体内的第二辊筒组件,所述第二辊筒组件设有至少一个第二辊组件;所述第二辊组件包括分别与所述第三侧壁相对的第二放卷辊、第四过辊、第五过辊、第六过辊和第二收卷辊,所述第二放卷辊靠近所述第二侧壁,所述第五过辊靠近所述第四侧壁,所述第四过辊位于第二放卷辊的正上方,所述第六过辊位于第五过辊的正上方,第五过辊和第六过辊位于第二放卷辊和第四过辊之间,所述第二收卷辊位于第六过辊的正上方,第四过辊位于第六过辊和第二收卷辊之间;所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第二下部蒸发源和第二上部蒸发源。

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