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申请/专利权人：上海稷以科技有限公司

摘要：本发明提出了一种立式炉晶舟升降系统及闭环控制方法，该系统包括：晶舟升降单元，用于密封炉管，其包括炉门、晶舟和晶舟升降组件；晶舟至于炉门的上表面，炉门与晶舟升降组件的输出端连接；外部检测单元，用于检测晶舟升降单元是否到达点位的真实位置，其包括：下部检测装置和上部检测装置；下部检测装置，用于检测零点位和下限位；上部检测装置，用于检测关键点位，并实现区间段检测。本发明中，伺服控制系统确认运动过程，外部检测装置确认运动结果，形成闭环控制。

主权项：1.一种立式炉晶舟升降的闭环控制方法，应用于立式炉晶舟升降系统，其特征在于，所述立式炉晶舟升降系统包括：晶舟升降单元，用于密封炉管7，其包括炉门4、晶舟6和晶舟升降组件；所述晶舟6位于炉门4的上表面，所述炉门4与晶舟升降组件的输出端连接；所述晶舟升降组件包括：晶舟升降底座；伺服电机1安装于晶舟升降底座；滚珠丝杠副2转动安装于晶舟升降底座；伺服电机1的输出端与滚珠丝杠副2的丝杠连接，滚珠丝杠副2的螺母与炉门4连接；外部检测单元，用于检测晶舟升降单元是否到达点位的真实位置，其包括：下部检测装置8和上部检测装置9；所述下部检测装置8，用于检测零点位和下限位，其包括：原点位光电传感器8a和下限位光电传感器8b，均固定于晶舟升降组件的晶舟升降底座，由上到下分布，其均为凹槽型对射传感器；原点位光电传感器8a的发射端和接收端位于传感器感应片8c的两侧；下限位光电传感器8b的发射端和接收端位于传感器感应片8c的两侧；所述传感器感应片8c，固定于炉门4；所述上部检测装置9，用于检测关键点位，并实现区间段检测，其包括：机械式触点开关9a，用于检测上限位，当传感器感应片8c向上移动至抵压机械式触点开关9a时，机械式触点开关9a触发；传感器支架9d，固定于晶舟升降底座，用于安装转盘9b和光纤传感器9c；转盘9b，转动安装于传感器支架9d，其上开设弧形孔，弧形孔沿转盘9b的厚度方向贯穿转盘9b；光纤传感器9c，为对射传感器，包括发射传感器和接收传感器，两者均设置于传感器支架9d，沿转盘9b的厚度方向，两者位于转盘9b的不同侧；所述控制方法包括以下步骤：步骤1、在伺服电机1的控制下，传感器感应片8c向下运动第一设定距离，控制器根据第一设定距离认为晶舟升降单元已经达到原点位，控制器将反馈信号至上位机控制系统，原点位光电传感器8a发出第二电平信号至控制器，确认原点位已经实际达到；如果此时原点位光电传感器8a没有发出第二电平信号，则说明位置产生偏差，需要根据原点的实际位置，重新设定伺服电机1的原点位；在伺服电机1的控制下，传感器感应片8c，继续向下运动第二设定距离，控制器根据第二设定距离认为晶舟升降单元已经达到下限位，将反馈信号至上位机控制系统，下限位光电传感器8b输出第二电平信号，同时原点位光电传感器8a持续输出第二电平，确认下限位已经实际达到；步骤2、在伺服电机1的控制下，传感器感应片8c向上运动，在此运动过程中，下限位光电传感器8b和原点位光电传感器8a均输出第一电平信号；继续向上运动，在此运动过程中，机械式触点开关9a未触发，光纤传感器9c输出第二电平信号；步骤3、当传感器感应片8c在伺服电机1的控制下，继续向上运动第三设定距离时，密封圈5开始接触炉管7；此时，控制器认为晶舟升降单元已经达到减速位，将反馈信号至上位机控制系统；在此状态下，传感器感应片8c撞击转盘9b，转盘9b旋转，弧形孔旋转至位置A，此时光纤传感器9c的发射传感器发出的脉冲信号透过弧形孔，光纤传感器9c的接收传感器发出第一电平信号，确认晶舟升降单元已经实际到达减速位；步骤4、晶舟升降单元在伺服电机1的控制下，继续向上运动第四设定距离；此状态下，炉门4和炉管7持续压缩密封圈5；此时，控制器将反馈信号至上位机控制系统，认为晶舟升降单元已经达到关键点位；在向上运动第四设定距离的过程中，传感器感应片8c推动转盘9b，转盘9b旋转，弧形孔由位置A继续旋转，光纤传感器9c将透过弧形孔，持续发出第一电平信号，确认晶舟升降单元上升，确认到达了关键点位的实际位置。

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