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申请/专利权人：北京高压科学研究中心
摘要：本发明涉及异质结制备技术领域，具体地涉及一种利用可控压力梯度制备异质结的方法，通过在金刚石对顶砧装置砧面设计可控的压力梯度，使样品两端分别位于低压区域和高压区域，加压使高压区域样品发生相变进而实现异质结的构筑。本发明实现室温下异质结构的快速制备，利用红宝石粉表征了不同设计结构的压力分布，确认了可控压力梯度的实现；进一步选取合适样品可制备多种不同类型的异质结器件，适用于整流器件及光电探测等领域。
主权项：1.一种利用可控压力梯度制备异质结的方法，其特征在于，包括以下过程：通过在金刚石对顶砧装置砧面设计可控的压力梯度，使样品两端分别位于低压区域和高压区域，加压使高压区域样品发生相变进而实现异质结的构筑；具体包括以下步骤：S1、垫片准备；选取T301不锈钢片作为初始垫片材料，将垫片预压至~40μm厚度，随后利用激光打孔装置在压痕中心以140μm为半径打孔，清洗垫片并复位至DAC砧面中心，在孔中填入氮化硼粉末二次预压至~40μm厚度；随后再次利用激光打孔装置切割出指定形状；之后将垫片复位至DAC砧面中心并固定；在指定形状区域内填入氯化钠粉末并压实；在氮化硼cBN区域切割出规则形状，并填入NaCl，由于cBN和NaCl压缩时的体积模量差异，压缩时两区域之间会形成一定的压力梯度；通过红宝石粉标定金刚石砧面的压力分布，确认可控压力梯度的形成；S2、挑选样品；将样品切成合适尺寸大小，放置于砧面中心，使其一端位于NaCl区域另一端位于cBN区域，随后在两区域靠近样品的位置各放置一颗红宝石用于压力标定；并在样品两端外联金线或铂线作为导线引出，用于后续电学测量；S3、装置加压；加压使cBN端样品部分发生结构相变转变为高压相而NaCl端样品仍为初始低压相，此时样品两端的结构不同，在两种传压介质交界处形成界面，即实现压腔内异质结的制备。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京高压科学研究中心 一种利用可控压力梯度制备异质结的方法
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