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申请/专利权人：深圳众诚达应用材料股份有限公司
摘要：本申请涉及靶材制备技术领域，提供了一种RPD镀膜用的氧化锌基靶材及其制备方法。其中，RPD镀膜用的氧化锌基靶材，其原料包括质量比为（89~98.5）（1~5）（0.5~4）（0~2）的氧化锌、氧化镁、氧化镓和氧化铝。本申请提供的RPD镀膜用的氧化锌基靶材，添加的氧化镁具有较宽的带隙，Mg2+作为掺杂剂固溶到氧化锌基体的晶格中，可以拓宽氧化锌基靶材镀膜带隙，提高紫外光波段的光透过率，使应用范围更广；添加氧化镓和氧化铝，Ga3+和Al3+取代Zn2+作为产生电子的供体，可以改善氧化锌基靶材镀膜的电学性能；添加氧化铝，还能提高氧化锌基靶材镀膜的化学稳定性。
主权项：1.一种RPD镀膜用的氧化锌基靶材的制备方法，其特征在于，所述氧化锌基靶材的原料包括质量比为（89~98）（1~5）（0.5~4）（0.5~2）的氧化锌、氧化镁、氧化镓和氧化铝；所述制备方法包括以下步骤：制备氧化镓镁锌固溶粉；将第二分散剂溶于水中形成包覆液，将纳米氧化铝粉加入所述包覆液中球磨混合，形成悬浮液；将第一氧化锌粉和所述氧化镓镁锌固溶粉置于动力混装置中，在温度为100~200℃、分散转速为500~1200rpm、公转转速为5~20rpm和自转转速为30~40rpm的条件下进行混合，同时通过所述动力混装置将所述悬浮液喷洒形成雾状颗粒，并落在所述第一氧化锌粉和所述氧化镓镁锌固溶粉的表面，待所述悬浮液喷洒完后继续混合2~4h，得到混合粉；将所述混合粉进行成型，得到靶材素坯；将所述靶材素坯进行烧结处理，得到氧化锌基靶材；其中，所述氧化锌基靶材具有多孔网络结构，并且相对密度为55~65%；制备所述氧化镓镁锌固溶粉的步骤包括：将氧化镓粉、氧化镁粉、第二氧化锌粉和第一分散剂加入酒精中进行球磨混合，然后加入粘结剂混合均匀，形成混合浆料；将所述混合浆料干燥后进行煅烧处理，得到氧化镓镁锌固溶粉。
全文数据：
权利要求：
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