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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：提供用于校正离子注入半导体制造工具中的部件故障的方法、系统和非暂时性计算机可读介质。一种方法包括以下步骤：从与离子注入工具相关联的传感器接收与特征相对应的当前传感器数据；执行特征分析，以生成针对当前传感器数据的附加特征；提供附加特征作为经训练机器学习模型的输入；从经训练机器学习模型获得一个或多个输出，其中一个或多个输出指示所预测窗口的置信水平；基于所预测窗口的置信水平，来预测离子注入工具的一个或多个部件是否在故障前窗口内；和响应于预测到一个或多个部件是在故障前窗口内，来执行与离子注入工具相关联的校正动作。
主权项：1.一种用于预测部件故障的方法，所述方法包括以下步骤：从与离子注入工具相关联的复数个传感器接收与复数个特征相对应的当前传感器数据；执行特征分析，以生成针对所述当前传感器数据的复数个附加特征；提供所述复数个附加特征作为到经训练机器学习模型的输入；从所述经训练机器学习模型获得一个或多个输出；基于所述一个或多个输出，来预测所述离子注入工具的一个或多个部件是在正常操作窗口内还是在故障前窗口内，其中在所述正常操作窗口中对应的数据点沿第一健康指数值大体上稳定，其中在所述故障前窗口中所述对应的数据点从所述第一健康指数值增加到第二健康指数值处的峰值，所述正常操作窗口在所述故障前窗口之前；和响应于预测到所述一个或多个部件是在所述故障前窗口内，执行与更换所述离子注入工具的所述一个或多个部件相关联的校正动作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 校正离子注入半导体制造工具中的部件故障
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