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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明涉及防尘薄膜框架及防尘薄膜组件。本发明提供一种防尘薄膜框架、及使用该防尘薄膜框架而构成的防尘薄膜组件；该防尘薄膜框架，可减少因防尘薄膜的张力所造成的防尘薄膜框架的往内侧的挠曲，抑制防尘薄膜组件的曝光区域的减少，且使皱褶不易进入至防尘薄膜框架的边中央附近的防尘薄膜。本发明为矩形框状的防尘薄膜框架10，其特征在于：至少一边的长度超过500mm；于至少一对相对向的边中的各自的边，构成为边的中央的防尘薄膜框架10的剖面积，较边的端部的防尘薄膜框架的剖面积更大。本发明的防尘薄膜组件的特征在于，其是使用本发明的防尘薄膜框架而构成的。
主权项：1.一种防尘薄膜框架，呈由四边构成的矩形框状，其特征在于：至少一边的长度超过500mm；于至少一对相对向的边中的各自的边中，所述边的防尘薄膜框架的剖面积从所述边的端部往所述边的中央而变大，在所述边的中央，具有防尘薄膜框架的剖面积几乎固定的区域；所述至少一对相对向的边中的各自的边的所述防尘薄膜框架的外缘的形状，是往外侧突出的形状；在构成防尘薄膜组件时，所述外缘的形状会因防尘薄膜的张力而成为往外侧的突出量或是往内侧的突出量在0.5mm以下的形状。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 防尘薄膜框架及防尘薄膜组件
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