龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：圆益IPS股份有限公司
摘要：本发明涉及基板处理，更详细地说，涉及用于对准成为基板处理对象的基板的对准模块及包括此的基板处理系统。本发明公开了一种对准模块100，选择性对准从外部导入的直角四边形形状的单张基板11或者将所述单张基板11分为2张的2张分割基板12，包括：对准腔室110，形成密封的内部空间；基板支撑部120，设置在所述对准腔室110内，以支撑所述单张基板11或者所述2张分割基板12；对准部，向所述对准腔室110内导入所述单张基板11时，对准所述单张基板11，在向所述对准腔室110内导入所述2张分割基板12时，对准所述2张分割基板12。
主权项：1.一种对准模块100，选择性对准从外部导入的直角四边形形状的单张基板11或者将所述单张基板11分为2张的2张分割基板12，其特征在于，包括：对准腔室110，形成密封的内部空间；基板支撑部120，设置在所述对准腔室110内，以支撑所述单张基板11或者所述2张分割基板12；对准部，向所述对准腔室110内导入所述单张基板11时，对准所述单张基板11，在向所述对准腔室110内导入所述2张分割基板12时，对准所述2张分割基板12，所述对准部包括：单张基板专用对准部410，用于对准所述单张基板11；分割基板专用对准部420，用于对准所述2张分割基板12；通用对准部430，在向所述对准腔室110内导入所述单张基板11时，与所述单张基板专用对准部410一同对准所述单张基板11，在向所述对准腔室110内导入所述2张分割基板12时，与所述分割基板专用对准部420一同对准所述2张分割基板12，所述通用对准部430在用于对准所述单张基板11的单张基板对准位置和用于对准所述2张分割基板12的分割基板对准位置之间可进行移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 圆益IPS股份有限公司 对准模块及包括此的基板处理系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号