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申请/专利权人：全芯智造技术有限公司
摘要：一种OPC建模方法，所述方法包括：确定用于OPC建模的修正拟合函数以及对应的光源核函数；对于每个修正拟合函数，将所述光源核函数的定义域包含的自变量的数量调整到与该修正拟合函数的定义域包含的自变量的数量一致，确定调整后的光源核函数与该修正拟合函数的逐点乘积函数，然后采用所述逐点乘积函数替代该修正拟合函数，以得到替代后的修正拟合函数；采用替代后的修正拟合函数进行OPC建模。本发明可以提高OPC建模得到的模型精度。
主权项：1.一种OPC建模方法，其特征在于，所述方法包括：确定用于OPC建模的修正拟合函数以及对应的光源核函数；对于每个修正拟合函数，将所述光源核函数的定义域包含的自变量的数量调整到与该修正拟合函数的定义域包含的自变量的数量一致，确定调整后的光源核函数与该修正拟合函数的逐点乘积函数，然后采用所述逐点乘积函数替代该修正拟合函数，以得到替代后的修正拟合函数；采用替代后的修正拟合函数进行OPC建模。
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百度查询： 全芯智造技术有限公司 OPC建模方法
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