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申请/专利权人：上海普达特设备科技有限公司;上海普达特半导体设备有限公司;普达特半导体设备(徐州)有限公司
摘要：本实用新型提供一种太阳能硅片电镀装置，通过恒流电源为硅片持续提供稳定电流，且通过在上滚轮上设置的与硅片一一对应的阴极导电刷及与阴极导电刷一一对应连接的电流监控模块，可实现对各个阴极导电刷的电流大小进行独立的监测和控制，从而在结合恒流电源及电流监控模块的综合调控下，可实现各硅片的电流分布的均匀性，以提高电镀均匀性；且本申请中的太阳能硅片电镀装置结构简单，易于控制。
主权项：1.一种太阳能硅片电镀装置，其特征在于，所述太阳能硅片电镀装置包括：槽体，用以容置电镀液；下滚轮，所述下滚轮位于所述槽体内，用以承载待电镀的硅片运行；上滚轮，所述上滚轮位于所述槽体上方，所述上滚轮上设置有阴极导电刷，且所述硅片与所述阴极导电刷一一对应设置；电流监控模块，所述电流监控模块设置于所述上滚轮上，且与所述阴极导电刷一一对应电连接；滑环，所述滑环设置于所述上滚轮的端部，且各所述电流监控模块均分别与所述滑环电连接；阳极组件，所述阳极组件位于所述槽体内的所述电镀液中；恒流电源，所述恒流电源与所述阳极组件及所述滑环均电连接，且结合所述电镀液、所述硅片、所述阴极导电刷及所述电流监控模块构成回路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海普达特设备科技有限公司 上海普达特半导体设备有限公司 普达特半导体设备(徐州)有限公司 太阳能硅片电镀装置
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