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申请/专利权人：深圳金美新材料科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种便于清洁镀膜辊的密封磁控溅射镀膜装置，包括镀膜腔和可移动的靶材小车；镀膜腔内、位于镀膜辊的下方设有伸缩清洁机构；靶材小车朝向镀膜腔一面设有两个溅射靶材，镀膜腔设有与溅射靶材对应的两个滑槽；靶材小车带动两个溅射靶材通过对应的滑槽插入镀膜腔内，并且溅射靶材位于镀膜辊和伸缩清洁机构之间。本实用新型通过移动靶材小车实现对镀膜腔内的溅射靶材进行安装或拆卸，并且镀膜腔内设有伸缩清洁机构，拆卸溅射靶材后伸缩清洁机构可对镀膜辊及时清理，防止辊面存在颗粒物影响镀膜质量，有助于提高设备的生产效率；而且镀膜腔的侧壁设有与溅射靶材适配的滑槽，溅射靶材插入滑槽后正好封堵镀膜腔，降低密封难度。
主权项：1.一种便于清洁镀膜辊的密封磁控溅射镀膜装置，包括镀膜腔，所述镀膜腔内设有放卷辊、收卷辊、第一镀膜辊和第二镀膜辊，其特征在于，所述镀膜腔内、位于所述第一镀膜辊和所述第二镀膜辊的下方均设有伸缩清洁机构；还包括可相对所述镀膜腔移动的靶材小车，所述靶材小车朝向所述镀膜腔的一面设有两个溅射靶材，所述镀膜腔设有与两个所述溅射靶材分别对应的两个滑槽，且一个滑槽对应一个镀膜辊；所述靶材小车移动靠近所述镀膜腔，以使两个溅射靶材通过对应的所述滑槽插入镀膜腔内并位于对应的镀膜辊和伸缩清洁机构之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳金美新材料科技有限公司 一种便于清洁镀膜辊的密封磁控溅射镀膜装置
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