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申请/专利权人：海科智创(天津)科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种气动超洁净波纹管阀，包括Y型阀体、阀杆、波纹管组件、后盖和气动执行器，波纹管组件包括底座、波纹管和连接法兰，底座与阀杆下端固定连接，波纹管套设在阀杆外周，波纹管上下端分别与连接法兰和底座焊接，且波纹管采用两端非缩径处理的圆柱型波纹管结构。Y型阀体内部表面粗糙度达0.13μm以下。本实用新型通过等离子激光焊接法简单方便的实现波纹管与底座和连接法兰的焊接，使其无需对波纹管两端缩径处理，实现圆柱型波纹管结构，增加波纹管接触面积，提升波纹管承受力，延长波纹管使用寿命。还通过降低阀体内部表面粗糙度，提升光洁度，尽可能的减少气体吸附性和金属离子混入处理气体中，满足大流量超纯气体洁净度要求。
主权项：1.一种气动超洁净波纹管阀，包括Y型阀体、阀杆、波纹管组件、后盖和气动执行器，其特征在于，所述波纹管组件包括底座、波纹管和连接法兰，所述底座与所述阀杆下端固定连接，所述波纹管套设在所述阀杆外周，所述波纹管的上下端分别与所述连接法兰和底座焊接，且所述波纹管采用两端非缩径处理的圆柱型波纹管结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 海科智创(天津)科技有限公司 一种气动超洁净波纹管阀
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