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申请/专利权人：南京埃米仪器科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种高深宽比压阻自感应式原子力显微镜探针制备设备，包括基体、分布在基体两端的探针操作模块和微镊操作模块以及样品台，标准压阻自感应式原子力显微镜探针装在探针操作模块上，调节探针操作模块带动标准压阻自感应式原子力显微镜探针在xyz向移动并且标准压阻自感应式原子力显微镜探针能360°旋转；微镊操作模块抓取材料并在xyz向上进行调节，将材料送至标准压阻自感应式原子力显微镜探针的尖端；样品台设置在基体上。优点，本实用新型设备，操作流程少，良品率高。
主权项：1.一种高深宽比压阻自感应式原子力显微镜探针制备设备，其特征在于，包括基体（1）、分布在基体（1）两端的探针操作模块（2）和微镊操作模块（3）以及样品台（4），标准压阻自感应式原子力显微镜探针装在探针操作模块（2）上，调节探针操作模块（2）带动标准压阻自感应式原子力显微镜探针在xyz向移动并且标准压阻自感应式原子力显微镜探针能360°旋转；微镊操作模块（3）抓取材料并在xyz向上进行调节，将材料送至标准压阻自感应式原子力显微镜探针（25）的尖端；样品台（4）设置在基体（1）上，且位于探针操作模块（2）和微镊操作模块（3）之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京埃米仪器科技有限公司 一种高深宽比压阻自感应式原子力显微镜探针制备设备
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