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申请/专利权人：杭州傲镭智能科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种冷阴极二极管检测装置，包括真空腔体、阳极机构、阴极机构；其中真空腔体分别设置有阳极机构、阴极机构、操作口以及连通腔体内部和外部的抽真空管道机构，阳极机构包括设置在真空腔体外侧的陶瓷电极以及腔体内的阳极架，阳极架上设置至少两个阳极靶，阴极机构包括设置在真空腔体外侧的至少陶瓷电极以及腔体内阴极架，阴极架个数、阳极靶以及陶瓷电极个数相等，轴线一一对应。打开操作口将需要检测的多个冷阴极二极管分别安装在阴极机构上，关闭操作口并使用真空泵通过抽真空管道机构抽真空使真空腔真空度达到要求，接通电源进行多个冷阴极二极管的同时检测，提高了检测和检验的工作效率。
主权项：1.一种冷阴极二极管检测装置，其特征在于，包括真空腔体、阳极机构、阴极机构；其中真空腔体同一轴线方向两端分别设置有阳极机构和阴极机构，垂直于轴线方向设置操作口，真空腔体上还设置有连通腔体内部和外部的抽真空管道机构，阳极机构包括设置在真空腔体外侧的第一陶瓷电极以及腔体内的阳极架，阳极架与第一陶瓷电极伸入真空腔体内电极机械连接，阳极架上设置至少两个阳极靶，阴极机构包括设置在真空腔体外侧的至少两个第二陶瓷电极以及腔体内阴极架，阴极架与第二陶瓷电极伸入真空腔体内电极机械连接，阴极架个数、阳极靶以及第二陶瓷电极个数相等，轴线一一对应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州傲镭智能科技有限公司 一种冷阴极二极管检测装置
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