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一种腔体电导率监测装置 

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申请/专利权人:派恩杰半导体(浙江)有限公司

摘要:本实用新型涉及电导率监测技术,公开了一种腔体电导率监测装置,其用于高湿的测试环境中,包括腔体,腔体内设有老化板;老化板上包括数个老化座;其老化座上放置有监测器件和测试器件;腔体通过老化板连接有监控测试单元19,监控测试单元19与监测器件连接,用于对腔体内的监测器件的电流进行监控。本实用新型设计的监测装置,其监控器件与测试器件处于完全一致的测试环境,通过获取监控器件的电导率从而确定测试器件的电导率,其监控数据准确,无误差。

主权项:1.一种腔体电导率监测装置,用于高湿的测试环境中,包括腔体,腔体内设有老化板;老化板上包括数个老化座;其特征在于,老化座上放置有监测器件和测试器件;腔体通过老化板连接有监控测试单元19,监控测试单元19与监测器件连接,用于对腔体内的监测器件的电流进行监控。

全文数据:

权利要求:

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