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半导体自动撕膜机的撕膜机构 

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申请/专利权人:东屹半导体科技(江苏)有限公司

摘要:本实用新型提供了半导体自动撕膜机的撕膜机构,通过第三驱动件和第三滑动件配合驱动起膜刀进行起膜,第二驱动件和第二滑动件配合驱动第一夹持部向下运动夹起膜边角,第一夹持部随第一滑动件同步上升膜被拉起,第四滑动件和第四滑轨配合驱动第二夹持部夹持住被拉起的膜,进行撕膜,增大了夹持面积,同时第二夹持部介入减小撕膜的夹角,提升撕膜稳定性,输送件与输送轨道配合进行丢膜,同时弹性部件取代传动机械夹手,膜在受力时不易断裂,同时凹凸面防止膜打滑脱落,第一夹持部靠近起膜刀一侧的弹性部件带有吹气孔,提供高压气流,解除与膜胶面的接触粘连,避免丢膜时膜被带回,解决了传统工艺中撕膜不净,脱膜断膜以及丢膜粘连等异常,提升工作效率。

主权项:1.半导体自动撕膜机的撕膜机构,其特征在于:包括第一驱动件1,所述第一驱动件1两侧分别固定设有第一滑轨2和输送件13,所述输送件13与输送轨道14滑动连接,所述第一滑轨2与第一滑动件3相配合滑动连接,所述第一滑动件3与连接板27固定连接,所述连接板27两侧固定设有平台4和侧板26,所述侧板26上设有第二驱动件5和第三驱动件9,所述第二驱动件5上设有第二滑动件6,所述第二滑动件6上设有第一夹持部7和第一调节阀8,所述第三驱动件9上设有第三滑动件10,所述第三滑动件10上设有第二调节阀11和起膜刀12,所述平台4侧面设置有第一限位18、第一感应器20和第二感应器21,所述平台4底部设有第四滑动件16、第四滑轨17和第二限位24,所述第四滑动件16与连接件19固定连接,所述连接件19底部设有第二夹持部15和第三调节阀28,所述第一夹持部7和第二夹持部15前端均设有可拆卸的弹性部件25。

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权利要求:

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