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申请/专利权人:泉芯半导体科技(无锡)有限公司
摘要:本实用新型公开一种用于晶圆甩干机的主轴连接结构,其包括主轴、连接盘和锁紧螺母,连接盘包括内孔,内孔的第一侧靠近主轴设置,内孔的第一侧设置第一锥形孔;主轴的第一端防转连接在电机的转轴,主轴的第二端设置有与第一锥形孔配合的第一锥形头,第一锥形头的端面开设有锁紧螺纹孔;主轴的第一锥形头伸入第一锥形孔后,锁紧螺母穿入内孔并锁紧在锁紧螺纹孔内。上述主轴连接结构通过第一锥形头和第一锥形孔,保证了主轴与连接盘的同轴度,通过锁紧螺母和第二锥形孔保证了锁紧螺母与连接盘的同轴度,通过第一锥形头和锁紧螺母螺纹连接,确保了第一锥形头和锁紧螺母的同轴度,进而保证了主轴、连接盘和锁紧螺母的同心度。
主权项:1.一种用于晶圆甩干机的主轴连接结构,其特征在于,所述用于晶圆甩干机的转轴连接结构包括主轴、连接盘和锁紧螺母,其中:所述连接盘包括内孔,所述内孔的第一侧靠近所述主轴设置,所述内孔的第一侧设置第一锥形孔;所述主轴的第一端防转连接在电机的转轴,所述主轴的第二端设置有与所述第一锥形孔配合的第一锥形头,所述第一锥形头的端面开设有锁紧螺纹孔;所述主轴的第一锥形头伸入所述第一锥形孔后,所述锁紧螺母穿入所述内孔并锁紧在所述锁紧螺纹孔内。
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