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申请/专利权人：泉芯半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型公开一种用于晶圆甩干机的主轴连接结构，其包括主轴、连接盘和锁紧螺母，连接盘包括内孔，内孔的第一侧靠近主轴设置，内孔的第一侧设置第一锥形孔；主轴的第一端防转连接在电机的转轴，主轴的第二端设置有与第一锥形孔配合的第一锥形头，第一锥形头的端面开设有锁紧螺纹孔；主轴的第一锥形头伸入第一锥形孔后，锁紧螺母穿入内孔并锁紧在锁紧螺纹孔内。上述主轴连接结构通过第一锥形头和第一锥形孔，保证了主轴与连接盘的同轴度，通过锁紧螺母和第二锥形孔保证了锁紧螺母与连接盘的同轴度，通过第一锥形头和锁紧螺母螺纹连接，确保了第一锥形头和锁紧螺母的同轴度，进而保证了主轴、连接盘和锁紧螺母的同心度。
主权项：1.一种用于晶圆甩干机的主轴连接结构，其特征在于，所述用于晶圆甩干机的转轴连接结构包括主轴、连接盘和锁紧螺母，其中：所述连接盘包括内孔，所述内孔的第一侧靠近所述主轴设置，所述内孔的第一侧设置第一锥形孔；所述主轴的第一端防转连接在电机的转轴，所述主轴的第二端设置有与所述第一锥形孔配合的第一锥形头，所述第一锥形头的端面开设有锁紧螺纹孔；所述主轴的第一锥形头伸入所述第一锥形孔后，所述锁紧螺母穿入所述内孔并锁紧在所述锁紧螺纹孔内。
全文数据：
权利要求：
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