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申请/专利权人：天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
摘要：本发明公开了一种具有高硬度和高韧性的Zr‑B‑C涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积涂层。制备Zr‑B‑C涂层中：本底压强抽至3×10‑3Pa以下，沉积温度370‑450℃，直流ZrB2靶功率1.2‑1.8kW，通入Ar和C2H2，C2H2流量为3‑18sccm；本发明通过工艺设计及优化C元素含量，制备出兼具高硬度和高韧性的Zr‑B‑C涂层。
主权项：1.一种具有高硬度和高韧性的Zr-B-C涂层的制备工艺，其特征在于：该工艺是采用脉冲直流磁控溅射技术在基体上沉积Zr-B-C涂层，沉积Zr-B-C涂层时，开启ZrB2靶，并在Ar和C2H2的的混合气氛中进行，其中：本底压强为3×10-3Pa以下，沉积温度370-450℃，ZrB2靶功率为1.2-1.8kW；通入Ar流量为100-120sccm，C2H2流量为3-18sccm，沉积时间240-280min。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) 一种具有高硬度和高韧性的Zr-B-C涂层的制备工艺
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