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申请/专利权人:扬州方通电子材料科技有限公司
摘要:本发明公开了一种人造石英晶棒凹槽加工装置,涉及石英晶棒凹槽加工技术领域;而本发明包括铣床,所述铣床中部设有石英晶棒夹持机构,所述铣床顶端安装有机械臂,所述机械臂的移动端安装有用于人造石英晶棒开槽的铣削机构,所述铣削机构的中心处设有喷洒切削液的切削液喷洒机构;本发明利用机械臂控制铣削机构和切削液喷洒机构调整位置,利用铣削机构来调整若干个第一铣刀和第二铣刀所组成的铣削器具的尺寸,来针对人造石英晶棒不同规格的凹槽的开槽需求,通过切削液喷洒机构来喷洒切削液,辅助铣削机构的开槽加工,使切削液能够始终喷洒在开槽处,提高切削液的使用效率。
主权项:1.一种人造石英晶棒凹槽加工装置,包括铣床1,其特征在于:所述铣床1中部设有石英晶棒夹持机构2,所述铣床1顶端安装有机械臂3,所述机械臂3的移动端安装有用于人造石英晶棒开槽的铣削机构4,所述铣削机构4的中心处设有喷洒切削液的切削液喷洒机构5。
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