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申请/专利权人：亿隅半导体科技(上海)有限公司
摘要：本发明公开了一种PECVD电源的分时复用控制方法，应用于包括两个放电模块的PECVD电源，两个放电模块分别为第一放电模块和第二放电模块，方法包括以下步骤：将第一放电模块的放电周期划分为依次连接的第一等待时间、依赖放电时间和第二等待时间，将第一放电模块的放电周期设置为基准放电周期；当依赖放电时间与第一放电模块的放电时间发生重叠时，缩短或延长第一等待时间，从而避免两个放电模块的放电时间重叠。本发明通过缩短或延长第一等待时间，动态调整第二放电模块的放电时间和等待时间，从而避免了两个放电模块的放电时间重叠，降低了PECVD电源前级电路的功率负荷。
主权项：1.一种PECVD电源的分时复用控制方法，其特征在于，应用于包括两个放电模块的PECVD电源，两个所述放电模块分别为第一放电模块和第二放电模块，所述方法包括以下步骤：S1、将所述第一放电模块的放电周期划分为依次连接的第一等待时间、依赖放电时间和第二等待时间，将所述第一放电模块的放电周期设置为基准放电周期；S2、控制所述第二放电模块在所述依赖放电时间内进行放电，在所述第一等待时间和所述第二等待时间内停止放电；S3、当所述依赖放电时间与所述第一放电模块的放电时间发生重叠时，缩短或延长所述第一等待时间，直至两个所述放电模块的放电时间重叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 亿隅半导体科技(上海)有限公司 一种PECVD电源的分时复用控制方法
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