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申请/专利权人：泰可诺智能株式会社
摘要：本发明提供一种容易区分基板中属于检查对象的导体部与导体部以外的绝缘部的技术。本发明的X射线检查装置具有X射线影像取得部、重建演算部、切片影像取得部、分类部及对比强调部。X射线影像取得部取得将X射线依倾斜于既定方向的角度照射基板所拍摄到的复数X射线影像；重建演算部根据该等X射线影像执行重建演算而取得重建信息；切片影像取得部根据该重建信息，取得在预设第一方向上切断该基板的切片影像；分类部将该切片影像分类为导体部与绝缘部；对比强调部用以增强该导体部与该绝缘部的对比。
主权项：1.一种X射线检查装置，其特征在于，包括：X射线影像取得部，其取得将X射线依倾斜于既定方向的角度照射基板而拍摄到的复数X射线影像；重建演算部，其根据所述X射线影像执行重建演算而取得重建信息；切片影像取得部，其根据所述重建信息，取得在预设第一方向上切断所述基板的切片影像；分类部，其将所述切片影像分类为导体部与绝缘部；以及对比强调部，其强调所述导体部与所述绝缘部的对比。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 泰可诺智能株式会社 X射线检查装置、X射线检查方法及X射线检查程序
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