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申请/专利权人：武汉宇恩防伪技术有限公司;湖北联合天诚防伪技术股份有限公司
摘要：本申请具体公开了一种光刻制版系统及其制版工艺，其包括可移动的运动台、投影光刻模块以及干涉光刻系统；运动台包括两个横支架、两个纵支架、控制装置以及夹紧装置；纵支架内侧壁设置有用于放置版体的放置板；控制装置包括传动机构、调节机构以及缓冲机构；传动机构包括两个传动辊、两段传动绳以及用复位组件；两段传动绳的一端与对应传动辊外壁固定连接，另一端与纵支架端部固定连接，传动绳处于绷直状态，两个传动辊的转动轴线为竖直设置。本申请具有便于对版体进行固定的效果，通过投影光刻系统和干涉光刻系统叠加曝光，即可在基片指定区域内光刻衍射波导结构，而基片指定区域外不存在衍射波导结构，提高了光波导制造的精度。
主权项：1.一种光刻制版系统，其特征在于：包括可移动的运动台1、投影光刻模块以及干涉光刻系统；所述运动台1包括两个横支架2、两个在所述横支架2上运动的纵支架3、用于实现两个所述纵支架3自动朝向版体运动的控制装置以及用于将版体夹紧在所述纵支架3的夹紧装置；所述纵支架3内侧壁设置有用于放置版体的放置板4；所述控制装置包括用于控制两个所述纵支架3相对运动的传动机构、用于对所述纵支架3刹停的调节机构以及用于缓冲所述纵支架3运动的缓冲机构；所述传动机构包括两个转动设置于所述横支架2上的传动辊5、两段传动绳6以及用于实现两个所述传动辊5自动复位的复位组件；两段所述传动绳6的一端与对应所述传动辊5外壁固定连接，另一端与所述纵支架3端部固定连接，所述传动绳6处于绷直状态，两个所述传动辊5的转动轴线为竖直设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉宇恩防伪技术有限公司 湖北联合天诚防伪技术股份有限公司 一种光刻制版系统及其制版工艺
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