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申请/专利权人：索尼半导体解决方案公司
摘要：本发明涉及能够提高遮光性能的固态摄像元件、制造方法和电子设备。该固态摄像元件具有其中存储基板、逻辑基板和传感器基板被层叠的层叠结构。固态摄像元件设置有：贯通电极，其使存储基板和传感器基板彼此连接，并使得贯通电极穿过所述逻辑基板的半导体层；遮光金属膜，其设置在逻辑基板的设置在传感器基板侧的配线层中，并且遮光金属膜中形成有开口以便使所述贯通电极穿过；以及接触电极，其形成在逻辑基板和传感器基板之间的接合表面上，并且用于将贯通电极连接至传感器基板侧。本技术能够应用于例如其中层叠有三层基板的层叠型固态摄像元件。
主权项：1.一种固态摄像元件，其包括：贯通电极，在层叠有第一基板、第二基板和第三基板的层叠结构中，所述贯通电极被构造成以穿过所述第二基板的半导体层的方式连接所述第一基板侧和所述第三基板侧；遮光膜，所述遮光膜布置在所述第二基板的设置在所述第三基板侧的配线层中，并且所述遮光膜具有被开口以使所述贯通电极穿过的开口部；以及接触电极，所述接触电极形成在所述第二基板和所述第三基板之间的接合表面上并且用于将所述贯通电极连接至所述第三基板侧，其中，所述贯通电极被形成为直径朝向所述第三基板增加的锥形形状，其中，锥形的所述贯通电极的侧面相对于所述贯通电极的中心轴具有预定角度，并且所述遮光膜的所述开口部以与所述贯通电极的中心成所述预定角度的两倍以下的角度的方式形成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 索尼半导体解决方案公司 固态摄像元件、制造方法和电子设备
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