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一种色差电池片的处理方法和电池片 

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申请/专利权人:新余赛维能源科技有限公司

摘要:本发明公开一种色差电池片的处理方法和电池片,涉及太阳能电池技术领域,包括以下步骤:步骤1:将色差电池片插入舟皿中,并放入镀膜炉中;步骤2:将镀膜炉进行升温通氮气处理;并在通气后进行抽真空处理;步骤3:抽真空结束后,采用氢气等离子刻蚀色差电池片;步骤4:氢气等离子刻蚀完成后,再次进行抽真空;抽真空结束后进行通氮气处理;步骤5:通氮气处理结束后,打开镀膜炉,取出刻蚀完成后的色差电池片,并测量得到色差电池片的一次膜层厚度d1;步骤6:将色差电池片再次推入镀膜炉中,按照镀膜工艺对色差电池片进行二次镀膜处理,其中,二次镀膜的时间t由一次膜层厚度d1、目标氮化硅膜层厚度D和正常镀膜时间T计算得到。

主权项:1.一种色差电池片的处理方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:将色差电池片插入舟皿中,并放入镀膜炉中;步骤2:将所述镀膜炉进行升温通氮气处理;并在通气后进行抽真空处理;步骤3:抽真空结束后,采用氢气等离子刻蚀所述色差电池片;步骤4:氢气等离子刻蚀完成后,再次进行抽真空;抽真空结束后进行通氮气处理;步骤5:通氮气处理结束后,打开镀膜炉,取出刻蚀完成后的所述色差电池片,并测量得到所述色差电池片的一次膜层厚度d1;步骤6:将所述色差电池片再次推入镀膜炉中,按照镀膜工艺对所述色差电池片进行二次镀膜处理,其中,二次镀膜的时间t由所述一次膜层厚度d1、目标氮化硅膜层厚度D和正常镀膜时间T计算得到。

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