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申请/专利权人：晶澳太阳能有限公司
摘要：本申请属于太阳能电池制备领域，具体涉及石墨舟的饱和方法。其包括，对石墨舟预先进行酸洗以及烘干处理；对酸洗以及烘干处理的石墨舟整体采用惰性气体进行第一次吹扫处理以溢出石墨舟内部的酸气和湿气；对第一次吹扫处理的石墨舟整体采用惰性气体进行第二次吹扫处理以再次溢出石墨舟内部的酸气和湿气，第二次吹扫处理的气体流量大于第一次吹扫的气体流量，第二次吹扫处理的时间小于第一次吹扫处理的时间；对第二次吹扫处理的石墨舟整体进行电离预处理以溢出石墨舟内部的酸气和湿气以及分解石墨舟表面污染物；对电离预处理后的石墨舟整体饱和沉积处理。通过这种方法得到的石墨舟在承载硅片时，能够避免电池片在进行EL测试出现边缘发黑的问题。
主权项：1.一种石墨舟的饱和方法，所述石墨舟应用于管式等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，所述石墨舟的饱和方法包括：对所述石墨舟预先进行酸洗以及烘干处理；对酸洗以及烘干处理后的所述石墨舟整体采用惰性气体进行第一次吹扫处理，以溢出所述石墨舟内部的酸气和湿气；对第一次吹扫处理后的所述石墨舟整体采用所述惰性气体进行第二次吹扫处理，以再次溢出所述石墨舟内部的酸气和湿气；其中，所述第二次吹扫处理的气体流量大于所述第一次吹扫的气体流量，所述第二次吹扫处理的时间小于所述第一次吹扫处理的时间；对所述第二次吹扫处理后的所述石墨舟整体进行电离预处理，以溢出所述石墨舟内部的酸气和湿气以及分解所述石墨舟表面污染物；对所述电离预处理后的所述石墨舟整体饱和沉积处理。
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