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申请/专利权人：株式会社尼康
摘要：本发明的搬送装置20具备：对准机构22，将配置于保持部21上的多个基板P分别相对于保持部21定位；吸附机构23，使多个基板P吸附于保持部21上；及搬送机构24，将保持部21搬送至曝光装置。
主权项：1.一种搬送装置，使用至少配置第一基板与第二基板的保持部来搬送基板，所述搬送装置具备：对准机构，将所述第一基板及所述第二基板分别相对于所述保持部定位；及搬送机构，在已将所述第一基板及所述第二基板定位的状态下搬送所述保持部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社尼康 搬送装置、曝光装置、搬送方法、曝光方法、对准标记
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