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申请/专利权人：浙江工业大学
摘要：一种利用电子束感应电流测量异质结界面复合速率的方法，同时考虑了耗尽区体复合和前界面复合，在耗尽区中同时考虑载流子的扩散运动和非均匀内建电场导致的漂移运动，获得了新的载流子收集几率函数。本发明通过电子束感应电流分析异质结界面复合的特性，这是影响异质结器件短波响应最重要的复合机制。通过测量值fx＝IEBICIb计算获得异质结界面的复合速率Sp，从而获得一组能够可靠评价异质结界面质量的参数。
主权项：1.一种利用电子束感应电流测量异质结界面复合速率的方法，其特征在于，在耗尽区中同时考虑载流子的扩散运动和非均匀内建电场导致的漂移运动，同时考虑了异质结界面复合和耗尽区体复合，获得了如下载流子收集几率： 其中积分Sp是异质结界面的复合速率，Dn和Dp是载流子的体扩散系数，a0是和吸收层掺杂浓度有关的特征长度，a是耗尽区宽度，λp＝Eμpτp,λn＝Eμnτn分别是空穴和电子寿命有关的漂移长度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江工业大学 一种利用电子束感应电流测量异质结界面复合速率的方法
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