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申请/专利权人：中国科学院国家空间科学中心

摘要：本发明涉及电子枪领域，特别是涉及一种低能远焦电子枪，包括：阴极发射体1、阴极紧固盖片16、阴极底座2、阳极3和电子枪外壳10，其特征在于，阳极3的前方依次设置有第一透镜组和第二透镜组；第一透镜组和第二透镜组共同构成透镜组，用于聚焦电子束；其中，第一透镜组包括：依次排列的三个相同的且中心具有开孔的单膜孔透镜，单膜孔透镜之间间隔一定距离；第二透镜组包括：依次排列的三个等径不等高的圆筒状电极，圆筒状电极之间间隔一定距离；阴极发射体1、阳极3、第一透镜组的三个单膜孔透镜和第二透镜组的三个圆筒状电极依次同轴设置。本发明的低能远焦电子枪重量轻，且可以产生低能量、远焦距的电子束。

主权项：1.一种低能远焦电子枪，包括：阴极发射体（1）、阴极紧固盖片（16）、阴极底座（2）、阳极（3）和电子枪外壳（10），其特征在于，所述阴极发射体（1）、阴极底座（2）和阴极紧固盖片（16）共同组成阴极组件；所述阳极（3）的前方依次设置有第一透镜组和第二透镜组，共同用于聚焦电子束；其中，所述第一透镜组包括：依次排列的三个相同的且中心具有开孔的单膜孔透镜；所述单膜孔透镜之间间隔一定距离；所述第二透镜组包括：依次排列的三个等径不等高的圆筒状电极；所述圆筒状电极之间间隔一定距离；所述阴极发射体（1）、阳极（3）、第一透镜组的三个单膜孔透镜和第二透镜组的三个圆筒状电极依次同轴设置；低能远焦电子枪的低能量为2eV-500eV，远焦距为大于200nm；所述电子枪外壳（10）由两个旋转对称的半圆形外壳部件组成，两个所述外壳部件通过定位销（13）对齐，并通过紧固螺丝（12）固定；其中，所述外壳部件内侧刻有凹槽，凹槽内嵌套有环形氧化铝陶瓷；所述氧化铝陶瓷内侧具有V型槽，所述阴极发射体（1）、阴极底座（2）、阳极（3）、第一透镜组和第二透镜组通过所述V型槽固定；所述阴极组件、所述阳极（3）、所述第一透镜组的三个单膜孔透镜和所述第二透镜组之间通过氧化铝陶瓷实现电气隔离，并均与所述电子枪外壳（10）电气隔离；所述阴极组件、阳极（3）、所述第一透镜组的三个单膜孔透镜、第二透镜组的三个圆筒状电极和电子枪外壳（10）均与外接电源装置连接；其中，所述阳极（3）和电子枪外壳（10）接地；所述电子枪通过调节外接电源装置的电压对所述电子枪产生的电子束的束流强度和电子束外形进行调节；或所述阴极发射体（1）、阴极底座（2）、阳极（3）、第一透镜组、第二透镜组和电子枪外壳（10）均设置有电极引出线预留接口；所述电极引出线预留接口与外接导线焊接，用于与外接电源装置连接；所有电极，即除氧化铝陶瓷外所有部件，均与外接电源装置连接，通过调节所述外接电源的电压对所述电子枪产生的电子束质量进行调节。

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