龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种半导体工艺腔室，包括腔体、基座、介质窗和线圈组件，介质窗盖设在腔体的顶部，基座设置于腔体内，基座具有用于承载晶圆的承载面，线圈组件设置在介质窗的上方，用于向腔体内馈入射频形成等离子体，介质窗的下表面具有环绕介质窗中心的曲面结构，曲面结构向背离基座的一侧凹陷，曲面结构在承载面上的投影覆盖承载面，以平衡基座上方的等离子体密度分布。本发明提供的半导体工艺腔室，能够提高等离子体密度的均匀性，从而能够提高晶圆的刻蚀均匀性，改善M型刻蚀，以能够满足更为先进的工艺的使用要求。
主权项：1.一种半导体工艺腔室，包括腔体、基座、介质窗和线圈组件，所述介质窗盖设在所述腔体的顶部，所述基座设置于所述腔体内，所述基座具有用于承载晶圆的承载面，所述线圈组件设置在所述介质窗的上方，用于向所述腔体内馈入射频形成等离子体，其特征在于，所述介质窗的下表面具有环绕所述介质窗中心的曲面结构，所述曲面结构向背离所述基座的一侧凹陷，所述曲面结构在所述承载面上的投影覆盖所述承载面，以平衡所述基座上方的等离子体密度分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺腔室
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号