龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：本发明提供一种miniLED芯片接触电极及制备方法，miniLED芯片接触电极包括欧姆接触层及设置于欧姆接触层顶部的阻止刻穿层，阻止刻穿层包括自下而上依次设置的第一子层、第二子层及第三子层，第一子层、第二子层及第三子层由逐渐升高的镀率蒸镀形成。因miniLED芯片的工作电流较小，将传统工艺中的反射层、保护层及导电层去除，可在不影响miniLED芯片性能的情况下节约生产成本，在设置阻止刻穿层时，以不同的镀率蒸镀，在接近欧姆接触层处以低镀率蒸镀第一子层，可避免反应腔内的腔体温度升高太快，进而导致金属应力增加，使光刻胶开裂的情况发生，同时可避免因应力而产生的翘边，保障了miniLED芯片的质量。
主权项：1.一种miniLED芯片接触电极，其特征在于，包括欧姆接触层及直接设置于所述欧姆接触层顶部的阻止刻穿层，所述阻止刻穿层用于阻挡刻蚀气体，所述阻止刻穿层包括自下而上蒸镀形成的第一层、第二层及第三层，蒸镀所述第一层、所述第二层及所述第三层的镀率逐渐升高，所述第一层包括蒸镀Pt形成的第四Pt层及蒸镀Ti形成的第一插入层，所述第二层包括蒸镀Pt形成的第五Pt层及蒸镀Ti形成的第二插入层，所述第三层为由蒸镀Pt形成的第六Pt层，所述第一插入层位于所述第四Pt层与所述第五Pt层之间，所述第二插入层位于所述第五Pt层与所述第六Pt层之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种mini LED芯片接触电极及制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号