买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：百林科制药装备科技(江苏)有限公司

摘要：本发明公开了一种恒压式气体质量流量控制装置及其控制方法，包括进气管、单向阀Ⅰ、电磁换向阀Ⅰ、气缸缸体、电磁换向阀Ⅱ、单向阀Ⅱ、蠕动泵和出气管；在所述气缸缸体内部滑动设有活塞板，且通过活塞板将气缸缸体左右分割成A腔室和B腔室；电磁换向阀Ⅰ和电磁换向阀Ⅱ为二位三通电磁换向阀，且进气管通过管路经单向阀Ⅰ与电磁换向阀Ⅰ的进气口P连通，电磁换向阀Ⅰ的工作口A与A腔室连通，且其工作口B与B腔室连通；电磁换向阀Ⅱ的工作口A与A腔室连通，且其工作口B与B腔室连通，其出气口T通过管路依次经单向阀Ⅱ、蠕动泵与所述出气管连通。本发明可直接有效控制输入气体的流量及质量，从而达到替换MFC气体质量流量控制器的作用。

主权项：1.一种恒压式气体质量流量控制装置，其特征在于：包括进气管、单向阀Ⅰ、电磁换向阀Ⅰ、气缸缸体、电磁换向阀Ⅱ、单向阀Ⅱ、蠕动泵和出气管；所述气缸缸体为水平横向设置的中空结构，且在其内部还竖直纵向设有与其相匹配的活塞板，所述活塞板在所述气缸缸体内沿其长度方向自由滑动，并将气缸缸体左右分割成互不连通的A腔室和B腔室；所述电磁换向阀Ⅰ和电磁换向阀Ⅱ均为二位三通电磁换向阀，且所述进气管通过管路经单向阀Ⅰ与所述电磁换向阀Ⅰ的进气口P连通，所述电磁换向阀Ⅰ的工作口A经气缸缸体左侧面偏上位置与所述A腔室连通，且其工作口B经气缸缸体右侧面偏上位置与所述B腔室连通；电磁换向阀Ⅱ的工作口A经气缸缸体左侧面偏下位置与所述A腔室连通，且其工作口B经气缸缸体右侧面偏下位置与所述B腔室连通，其出气口T通过管路依次经单向阀Ⅱ、蠕动泵与所述出气管连通；在所述单向阀Ⅱ与所述蠕动泵连通的管路上还依次间隔连通设有压力表Ⅲ和电磁阀Ⅲ，且所述压力表Ⅲ设置在靠单向阀Ⅱ一侧，并通过压力表Ⅲ来测量排气压力；所述电磁阀Ⅲ采用二位二通换向阀，且通过压力表Ⅲ和电磁阀Ⅲ的配合使用，在排气压力过高时释放管路中的气体，进而减少管路压力，防止造成设备及管路损坏；在所述电磁换向阀Ⅰ的工作口A与所述A腔室连通的管路上还连通设有用于检测A腔室内气体压力的压力表Ⅰ，且在所述电磁换向阀Ⅰ的工作口B与所述B腔室连通的管路上还连通设有用于检测B腔室内气体压力的压力表Ⅱ；在所述气缸缸体的左内侧面偏上位置且位于A腔室内还设有红外测距传感器Ⅰ，并通过红外测距传感器Ⅰ来检测其与活塞板之间的距离；在所述气缸缸体的左内侧面偏下位置且位于A腔室内还设有温度探头Ⅰ，并通过温度探头Ⅰ来测量A腔室内的气体温度；在所述气缸缸体的右内侧面偏上位置且位于B腔室内还设有红外测距传感器Ⅱ，并通过红外测距传感器Ⅱ来检测其与活塞板之间的距离；在所述气缸缸体的右内侧面偏下位置且位于B腔室内还设有温度探头Ⅱ，并通过温度探头Ⅱ来测量B腔室内的气体温度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 百林科制药装备科技(江苏)有限公司 一种恒压式气体质量流量控制装置及其控制方法