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溶铜装置及电镀生产线 

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申请/专利权人:江苏启威星装备科技有限公司

摘要:本申请公开了一种溶铜装置及电镀生产线,涉及电镀生产设备技术领域。本申请提供一种溶铜装置,其包括:溶铜槽、过滤机构和储液槽;所述溶铜槽内设置有搅拌机构、换热机构和第一检测组件,所述第一检测组件用于检测溶铜槽内的液体液位和或温度;所述溶铜槽的第一进口与供水管路连接,所述溶铜槽的第二进口与供液组件连接;所述过滤机构设置在溶铜槽和储液槽之间,且所述溶铜槽的出料口连接过滤机构的进口,所述过滤机构的出口连接储液槽的进料口,所述储液槽的出料口与计量泵连接,所述计量泵与检测分析仪连接。本申请能够快速提高溶铜效率以及稳定液体内的铜离子浓度,方便电镀槽内的铜离子液体补液操作,便于维护。

主权项:1.一种溶铜装置,其特征在于,包括:溶铜槽、过滤机构和储液槽;所述溶铜槽内设置有搅拌机构、换热机构和第一检测组件,所述第一检测组件用于检测所述溶铜槽内的液体液位和或温度;所述溶铜槽的第一进口与供水管路连接,所述溶铜槽的第二进口与供液组件连接;所述过滤机构设置在所述溶铜槽和所述储液槽之间,且所述溶铜槽的出料口连接所述过滤机构的进口,所述过滤机构的出口连接所述储液槽的进料口,所述储液槽的出料口与计量泵连接,所述计量泵与检测分析仪连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏启威星装备科技有限公司 溶铜装置及电镀生产线

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