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申请/专利权人：一道新能源科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，属于晶体硅电池扩散设备领域，包括扩散炉炉管，所述扩散炉炉管包括炉口端和炉尾端，所述炉尾端连通有大流量气体进气管路，所述扩散炉炉管的周侧连通有至少一排通源气体进气管，一排中的多个所述通源气体进气管沿所述扩散炉炉管的中轴线等间隔排列。采用本实用新型的管式扩散炉对电池硅片进行扩散，能大大降低了工艺调试的难度，所制备的电池片方阻一致性好。
主权项：1.一种用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，其特征在于，包括扩散炉炉管1，所述扩散炉炉管1包括炉口端和炉尾端，所述炉尾端连通有大流量气体进气管路4，所述扩散炉炉管1的周侧连通有至少一排通源气体进气管，一排中的多个所述通源气体进气管沿所述扩散炉炉管1的中轴线等间隔排列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 一道新能源科技股份有限公司 一种用于提高方阻均匀性的管式扩散炉
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