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申请/专利权人：四川江化微电子材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种NMP洗液杂质富集纯化装置，涉及NMP洗液回用技术领域。本实用新型包括NMP洗液预处理机构，所述NMP洗液预处理机构用于输出温度与NMP沸点相同的NMP混合蒸汽；所述NMP洗液预处理的出气端连通冷凝纯化机构，所述冷凝纯化机构包括圆柱形的冷凝箱，所述冷凝箱的内壁设有过液箱，所述冷凝箱的侧壁设有与所述过液箱连通的进液管和出液管，所述过液箱内填充有低于NMP沸点2℃的冷凝液，所述冷凝箱的顶面连通排气管，所述冷凝箱的底面连通排液管，所述NMP洗液预处理机构与所述冷凝箱位于所述过液箱下方的腔体连通，所述冷凝箱内位于所述过液箱外的部分整体作为过气冷凝腔；以实现对NMP洗液进行快速纯化的目的。
主权项：1.一种NMP洗液杂质富集纯化装置，其特征在于：包括NMP洗液预处理机构，所述NMP洗液预处理机构用于输出温度与NMP沸点相同的NMP混合蒸汽；所述NMP洗液预处理的出气端连通冷凝纯化机构，所述冷凝纯化机构包括圆柱形的冷凝箱（1），所述冷凝箱（1）的内壁设有过液箱（2），所述冷凝箱（1）的侧壁设有与所述过液箱（2）连通的进液管（3）和出液管（4），所述过液箱（2）内填充有低于NMP沸点2℃的冷凝液，所述冷凝箱（1）的顶面连通排气管（5），所述冷凝箱（1）的底面连通排液管（6），所述NMP洗液预处理机构与所述冷凝箱（1）位于所述过液箱（2）下方的腔体连通，所述冷凝箱（1）内位于所述过液箱（2）外的部分整体作为过气冷凝腔。
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百度查询： 四川江化微电子材料有限公司 一种NMP洗液杂质富集纯化装置
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