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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于靶材领域，公开了一种氧化铟铈靶材的制备方法，包括如下步骤：混合氧化铟粉末、氧化铈粉末、分散剂和水后喷雾造粒，得到混合粉末A，然后烧结混合粉末A，再于烧结后的混合粉末A中混合氢氧化铟粉末并压制成型，得到靶材胚体，烧结靶材胚体即得所述氧化铟铈靶材。本发明选择氢氧化铟粉末取代现有技术中常用的有机粘结剂，防止烧结过程中有机粘结剂生成黑点；并且氢氧化铟粉末在烧结过程中会脱水，水在高温下阻碍烧结致密化进程，从而获得低密度靶材。
主权项：1.一种氧化铟铈靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，混合研磨氧化铟粉末、氧化铈粉末、分散剂和水，制得浆料，然后将浆料喷雾造粒，得到混合粉末A；步骤2，烧结混合粉末A，然后混合氢氧化铟粉末和烧结后的混合粉末A、压制成型，得到靶材胚体；步骤3，烧结靶材胚体，即制得所述氧化铟铈靶材。其中，步骤2中加入的氢氧化铟粉末和步骤1中加入的氧化铟粉末的质量比为90~96∶3~7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氧化铟铈靶材及其制备方法
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