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一种多元氮化物制备超硬超耐磨2N18色涂层沉积工艺 

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申请/专利权人:创隆实业(深圳)有限公司

摘要:本发明属于钟表、首饰及电子产品装饰性表面处理技术领域,公开了一种多元氮化物制备超硬超耐磨2N18色涂层沉积工艺。本发明的涂层主要通过离子镀技术高功率脉冲磁控溅射技术或电弧技术实现沉积,其主要特点在于多元材料钛,锆,铬的复合,其中铬含量小于10%,钛含量及锆含量皆为在10%‑80%范围变动。通过调节不同的钛锆比例即可获得1N14色及2N18色涂层。在流程上,采用梯度进气,以此缓解应力,保证膜‑基附着性能。该方案在沉积过程中气压,靶功率维持一致不变,工艺流程比较稳定,使用非贵金属化合物涂层,实现了高度类似贵金属真金涂层2N18色的装饰效果,且获得涂层的硬度及耐磨耗性能远优于贵金属真金涂层。

主权项:1.一种多元氮化物制备超硬超耐磨2N18色涂层沉积工艺,其特征在于,所述工艺包括以下步骤:1将样品基材在自动化清洗线完成液态清洗;2将样品基材放置于镀膜机内预抽真空;3预抽真空在镀膜机内进行辉光清洗;4辉光清洗后在镀膜机内进行膜层沉积;5膜层沉积后冷却出炉;其中,所述膜层沉积包括附着层沉积、过渡层沉积以及最终的镀膜沉积;所述涂层为Ti-Zr-Cr-N复合材料涂层。

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