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申请/专利权人：业桓科技(成都)有限公司;业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司
摘要：本申请提供一种光学元件，包括第一透光基材部以及第二透光基材部。第一透光基材部包括多个第一凸起部，每一第一凸起部沿第一方向延伸，多个第一凸起部沿第二方向依次分布，第一方向与第二方向交叉。第二透光基材部覆盖于第一凸起部并填充于相邻第一凸起部之间，第一透光基材部的慢轴的方向与第二透光基材部的慢轴的方向垂直。其中，第一透光基材部与第二透光基材部的厚度差大小在第二方向上随位置改变呈周期性变化，以使所述光学元件沿所述第一透光基材部和所述第二透光基材部叠加方向上的慢轴的方向在第二方向上随位置改变呈周期性变化。本申请还提供一种光学元件的制备方法、一种曝光系统以及一种曝光方法。
主权项：1.一种光学元件，其特征在于，包括：第一透光基材部，包括多个第一凸起部，每一所述第一凸起部沿第一方向延伸，多个所述第一凸起部沿第二方向依次排列，所述第一方向与所述第二方向交叉；以及第二透光基材部，覆盖于所述第一凸起部并填充于相邻所述第一凸起部之间，所述第一透光基材部的慢轴的方向与所述第二透光基材部的慢轴的方向垂直；其中，所述第一透光基材部与所述第二透光基材部的厚度差大小在所述第二方向上随位置改变呈周期性变化，以使所述光学元件沿所述第一透光基材部和所述第二透光基材部叠加方向上的慢轴的方向在所述第二方向上随位置改变呈周期性变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 业桓科技(成都)有限公司 业成科技(成都)有限公司 业成光电(深圳)有限公司 英特盛科技股份有限公司 光学元件、光学元件的制备方法、曝光系统以及曝光方法
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