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申请/专利权人：重庆欣晖材料技术有限公司
摘要：本公开实施例提供了一种碳化物晶体结构及其制备方法、制备装置，其中，碳化物晶体结构的制备装置包括：反应腔体，反应腔体包括侧壁和底座；进气装置，至少设置于侧壁；底座包括第一区域和第二区域，第二区域位于第一区域外侧；第一支撑轴，包括多个第一子支撑轴，设置于第一区域，用于支撑第一基板；第二支撑轴，包括至少一个第二子支撑轴，位于第二区域，用于支撑第二基板；第一子支撑轴的轴向延伸线与进气装置的最短距离为第一距离；第二子支撑轴的轴向延伸线与进气装置的最短距离为第二距离；第一距离大于第二距离。
主权项：1.一种碳化物晶体结构制备装置，其特征在于，包括：反应腔体，所述反应腔体包括侧壁和底座；进气装置，至少设置于所述侧壁；所述底座包括第一区域和第二区域，所述第二区域位于所述第一区域外侧；第一支撑轴，包括多个第一子支撑轴，设置于所述第一区域，用于支撑第一基板；第二支撑轴，包括至少一个第二子支撑轴，设置于所述第二区域，用于支撑第二基板；所述第一子支撑轴的轴向延伸线与所述进气装置的最短距离为第一距离；所述第二子支撑轴的轴向延伸线与所述进气装置的最短距离为第二距离；所述第一距离大于所述第二距离。
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百度查询： 重庆欣晖材料技术有限公司 碳化物晶体结构及其制备方法、制备装置
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