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申请/专利权人：哈尔滨工程大学
摘要：本发明适用于等离激元纳米光子学技术领域，提供了具有多样化纳米结构对称性的银点阵列的制备方法，所述方法包括：对铝片进行预处理；在预处理后的铝片上预制图案并进行阳极氧化；通过三离子束切割机对多孔阳极氧化铝薄膜切削；制备具有不同纳米周期结构对称性的阳极氧化铝；制备具有不同对称性的金属点阵列。本发明利用了物理切削的方式实现了平整的减薄作用，通过化学腐蚀方式实现具有不同对称性的多空阳极氧化铝的制备，并以此为模板，通过磁控溅射以及物理手段剥离阳极氧化铝的方式实现了对于具有不同对称性的银点阵列的制备。本发明可以制备厘米级别的样品，可以最大程度的节约成本，并在较低温环境下进行，保证了实验操作者的人身安全。
主权项：1.具有多样化纳米结构对称性的银点阵列的制备方法，其特征在于，所述方法包括：对铝片进行预处理；在预处理后的铝片上预制图案并进行阳极氧化，获取多孔阳极氧化铝薄膜；利用三离子束切割机，在4.5kV，2mA，6°迎角下，通过三离子束切割机对多孔阳极氧化铝薄膜切削40min；制备具有不同纳米周期结构对称性的阳极氧化铝；将阳极氧化铝的PMMA一侧朝下放入丙酮溶液中，待PMMA被完全溶解，将阳极氧化铝转移至玻璃片上，得到具有不同纳米结构对称性的多孔阳极氧化铝薄膜；制备具有不同对称性的金属点阵列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工程大学 具有多样化纳米结构对称性的银点阵列的制备方法
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