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申请/专利权人：尊芯智能科技(苏州)有限公司;尊芯(上海)半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种存储库的密封门装置，包括机架，其上贯穿设置有左右连通的料口，料口内设有用以容置晶圆盒的暂存位；门板组件，设置有两组并分别位于料口的两侧；每组门板组件均包括启闭驱动部、门板部，门板部在启闭驱动部的作用下升降移动以启闭料口；门板部包括内门板、外门板、弹性件，内门板靠近料口设置，并通过弹性件与外门板连接；外门板与启闭驱动部连接；压紧组件，与门板组件一一对应设置，其包括止挡部、联动部；止挡部设置在机架上并位于料口的上方，用以供对应的门板组件的内门板抵接；联动部设置在内门板、外门板之间，并能上下摆动以使内门板向靠近或远离外门板的方向移动。本发明能有效抑制氮气在料口处的外漏问题。
主权项：1.一种存储库的密封门装置，其特征在于：包括机架，其上贯穿设置有左右连通的料口，所述料口内设有用以容置晶圆盒的暂存位；门板组件，设置有两组并分别位于所述料口的两侧；每组所述门板组件均包括启闭驱动部、门板部，所述门板部在所述启闭驱动部的作用下升降移动以启闭所述料口；所述门板部包括内门板、外门板、弹性件，所述内门板靠近所述料口设置，并通过所述弹性件与所述外门板连接；所述外门板与所述启闭驱动部连接；压紧组件，与所述门板组件一一对应设置，其包括止挡部、联动部；所述止挡部设置在所述机架上并位于所述料口的上方，用以供对应的所述门板组件的内门板抵接；所述联动部设置在所述内门板、外门板之间，并能上下摆动以使所述内门板向靠近或远离所述外门板的方向移动；输送组件，设置在所述料口处，用以搬运晶圆盒；在两组所述门板组件运行的过程中，所述料口至少被一组所述门板组件关闭；且在所述外门板上升的过程中，所述内门板能在所述弹性件的作用下随所述外门板同步上升，直至所述内门板抵接在所述止挡部上，此时，所述内门板关闭所述料口；当所述外门板继续上升时，所述联动部发生摆动，以使所述内门板向远离所述外门板的方向移动并压紧在所述料口上。
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权利要求：
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