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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种定焦及焦距测量装置及方法，定焦及焦距测量装置包括：依次设置的准直器、光路延长系统、透镜和光束接收系统；光路延长系统包括：入射镜、光路延长镜组和出射镜；进行定焦时，准直器射出的高斯光束的光轴与透镜光轴重合，准直器射出的高斯光束经入射镜反射至光路延长镜组，高斯光束经光路延长镜组多次反射后入射至出射镜，并经出射镜反射至透镜，且出射镜射出的高斯光束的光轴与透镜光轴重合；高斯光束经过透镜在靶面上形成光斑；其中，调整入射镜对高斯光束进行反射的入射角，以调整高斯光束的物方束腰距离。本发明至少有利于优化空间利用率和减小测量系统的整体体积，提高了系统检测效率和精度。
主权项：1.一种定焦及焦距测量装置，其特征在于，包括：依次设置的准直器、光路延长系统、透镜和光束接收系统；所述准直器用于射出高斯光束；所述光路延长系统包括：入射镜、光路延长镜组和出射镜；进行定焦时，所述准直器射出的所述高斯光束的光轴与透镜光轴重合，所述准直器射出的所述高斯光束经所述入射镜反射至所述光路延长镜组，所述高斯光束经所述光路延长镜组多次反射后入射至所述出射镜，并经所述出射镜反射至所述透镜，且所述出射镜射出的所述高斯光束的光轴与所述透镜光轴重合；所述光束接收系统具有靶面，所述高斯光束经过所述透镜在所述靶面上形成光斑；其中，所述光束接收系统沿平行于所述透镜光轴的方向可移动，进行定焦时，调整所述入射镜对所述高斯光束进行反射的入射角，以调整所述高斯光束的物方束腰距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 定焦及焦距测量装置及方法
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