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申请/专利权人：苏州益腾电子科技有限公司
摘要：本发明提供一种旋转阳极靶的表面复合层及其制备方法与旋转阳极靶的修复方法，所述表面复合层包括：基体层、过渡层和钨铼合金表层；所述过渡层的组成包括：Re0‑30wt%，W0‑20wt%，且均不包括0，余量为Mo；所述基体层和过渡层的界面的应力状态为压应力，所述过渡层和钨铼合金表层的界面的应力状态为拉应力。本发明提供的表面复合层及修复方法，提升钨铼表层与原TZM基体的界面结合力和强度，提升旋转阳极靶盘的服役性能，经长时间热循环测试不产生界面失效。
主权项：1.一种旋转阳极靶的表面复合层，其特征在于，所述表面复合层包括：基体层、过渡层和钨铼合金表层；所述过渡层的组成包括：Re0-30wt%，W0-20wt%，且均不包括0，余量为Mo；所述基体层和过渡层的界面的应力状态为压应力，所述过渡层与钨铼合金表层的界面的应力状态为拉应力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州益腾电子科技有限公司 一种旋转阳极靶的表面复合层及其制备方法与旋转阳极靶的修复方法
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