龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳市磐锋精密技术有限公司
摘要：本发明涉及一种晶圆贴膜平台，使用时通过吸板平台上的真空吸盘吸附晶圆，覆膜时先通过发热机构加热产品，使得覆膜贴覆更稳固，在镭射切割时，通过过滤抽尘机构进行吸尘，能够更好地保证覆膜和镭射切割时的无尘环境，贴覆时通过贴覆平台升降机构驱动吸板平台、发热机构和过滤抽尘机构进行升降，配合上方的覆膜机构，能够更好地进行覆膜，覆膜完毕后通过产品顶升机构能够更方便地将产品取出。发热机构设置了导热板能够使得吸板平台受热更加均与，隔热板能够避免热量向下传递，提供热利用率。过滤抽尘机构设置了过滤网环组，能够保证过滤抽尘机构的长时间使用，延长过滤抽尘机构的使用寿命，当集尘到一定程度后更换过滤网环组即可。
主权项：1.一种晶圆贴膜平台，其特征在于，包括：吸板平台，所述吸板平台上设有若干真空吸盘；发热机构，依次包括导热板、发热层和隔热板，所述导热板贴附在所述吸板平台的底部；过滤抽尘机构，依次包括封环、过滤网环组和集尘座，所述集尘座具有抽尘口，所述过滤网环组具有至少一层过滤网环，所述过滤网环组和所述封环环绕所述吸板平台和所述发热机构，所述封环抵接扣合所述过滤网环组的边缘部分并使所述过滤网环组的其余部分露出，所述集尘座与抽尘接头连接；产品顶升机构，配置在所述吸板平台的下方，所述产品顶升机构包括产品顶杆，所述吸板平台和所述发热机构设置有供所述产品顶杆伸出的顶升孔；贴覆平台升降机构，配置在所述吸板平台的下方，所述贴覆平台升降机构推动所述吸板平台和所述发热机构集体上下移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市磐锋精密技术有限公司 一种晶圆贴膜平台
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号