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申请/专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
摘要：本申请提供一种游星轮外圈滚道装置，涉及半导体加工设备技术领域，包括销齿圈和外圈座；其中：所述销齿圈环绕设置于机床工作台的外侧，所述销齿圈以所述机床工作台的圆心作为转动中心与所述机床工作台相对转动；所述外圈座套设在所述机床工作台的外侧，所述销齿圈转动于所述外圈座的顶部；所述销齿圈的下表面开设有环形结构的上滚道槽，所述外圈座的上表面开设有环形结构的下滚道槽，所述上滚道槽和所述下滚道槽叠合构成环形滚道，在所述环形滚道内装有若干个滚珠，所述滚珠能够在所述环形滚道内滚动。解决了相关技术中游星轮运行不平稳或震动而导致晶圆片的研磨抛光质量下降、甚至造成晶圆片报废的缺陷。
主权项：1.一种游星轮外圈滚道装置，其特征在于，包括销齿圈32和外圈座4；其中：所述销齿圈32环绕设置于机床工作台101的外侧，所述销齿圈32以所述机床工作台101的圆心作为转动中心与所述机床工作台101相对转动；所述外圈座4套设在所述机床工作台101的外侧，所述销齿圈32转动于所述外圈座4的顶部；所述销齿圈32的下表面开设有环形结构的上滚道槽321，所述外圈座4的上表面开设有环形结构的下滚道槽41，所述上滚道槽321和所述下滚道槽41叠合构成环形滚道，在所述环形滚道内装有若干个滚珠42，所述滚珠42能够在所述环形滚道内滚动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京特思迪半导体设备有限公司 一种游星轮外圈滚道装置以及外圈驱动系统
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