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申请/专利权人：金阳(泉州)新能源科技有限公司
摘要：本发明属于联合钝化背接触电池制作技术领域，具体涉及一种联合钝化背接触电池的后制绒制作方法，包括：S2、在硅片背面依次形成第一半导体层、掩膜层；S3、形成第二半导体开口区；S4、制绒清洗；所述制绒清洗的过程至少包含预清洗、抛光、制绒；所述抛光采用的抛光液为含碱、抛光添加剂与水的混合溶液，抛光液的pH在11‑13，所述抛光添加剂包含浓度为0.1%‑2%的乙二胺四甲叉磷酸。本发明解决了激光开口后出绒不完整的问题，同时不腐蚀掩膜层，硅片损耗小；沉积的钝化膜层质量有了明显的改善，钝化性能提高，从而提高了开压与电池转换效率。
主权项：1.一种联合钝化背接触电池的后制绒制作方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、提供双面抛光的硅片；S2、在硅片背面依次形成第一半导体层、掩膜层；掩膜层厚度为30-90nm；所述第一半导体层包含隧穿氧化层和第一掺杂多晶层；S3、在S2所得背面的预设区域，对第一半导体层及其对应掩膜层进行第一激光刻蚀，去除预设区域内的掩膜层及部分第一半导体层，形成间隔分布的第二半导体开口区；S4、制绒清洗，在背面的第二半导体开口区内与正面同时形成绒面，并去除掩膜层；所述制绒清洗的过程至少包含预清洗、抛光、制绒；其中，所述抛光采用的抛光液为含碱、抛光添加剂与水的混合溶液，抛光液的pH在11-13，碱在抛光液中的质量浓度为1%-3%，抛光添加剂在抛光液中的质量浓度为0.5%-2%，所述抛光添加剂包含乙二胺四甲叉磷酸、苯甲酸、聚乙二醇和硅酸钠以及水，以抛光添加剂的总量为基准，抛光添加剂中乙二胺四甲叉磷酸的浓度为0.1%-2%，苯甲酸的浓度为0.5%-2%，硅酸钠的浓度为0.1%-2%，聚乙二醇的浓度为0.1%-0.5%；所述抛光的条件包括：反应温度为60℃-85℃，反应时间为30-300s；S5、在S4所得硅片正面形成钝化层和减反层，背面形成第二半导体层，第二半导体层包含本征非晶硅层与第二掺杂硅层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 金阳(泉州)新能源科技有限公司 一种联合钝化背接触电池的后制绒制作方法
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