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申请/专利权人：中科研和(宁波)科技有限公司

摘要：本发明提供一种基于直杆天线ICP的石墨舟清洗设备及方法，石墨舟清洗技术领域，以解决现有技术中ICP针对清洗石墨舟这种大面积、大体积的应用，若选用螺旋线圈或平面线圈两种形式，会导致线圈整体的电感量巨大，难以与主流射频电源相匹配的技术问题；一种基于直杆天线ICP的石墨舟清洗设备，包括反应室，反应室内设有反应腔，反应腔内设有偏压电极板，偏压电极板上设有用于放置石墨舟的绝缘块，反应室内连接有若干直杆电极，每根直杆电极的长度方向与石墨舟长度方向在空间上垂直，若干直杆电极并联呈单梳型、双梳型、U型、双梳型与U型相结合的其中一种布局；还涉及一种基于直杆天线ICP的石墨舟清洗方法，使用上述的石墨舟清洗设备。

主权项：1.一种基于直杆天线ICP的石墨舟清洗设备，其特征在于，包括反应室（1），所述反应室（1）内设有容纳石墨舟的反应腔（2），所述反应腔（2）内设有偏压电极板（3），所述偏压电极板（3）上设有用于放置石墨舟的绝缘块（4），所述反应室（1）内连接有若干直杆电极（5），若干所述直杆电极（5）水平设置且相互平行，当石墨舟放置在所述绝缘块（4）上时，每根所述直杆电极（5）均位于石墨舟上方且每根所述直杆电极（5）的长度方向与石墨舟长度方向在空间上垂直设置，若干所述直杆电极（5）并联呈单梳型、双梳型、U型、双梳型与U型相结合的其中一种布局；单梳型布局为若干所述直杆电极（5）平行等间距布置，其中一端并联后连接射频电源，另一端并联后接地；双梳型布局为两组相同数量的所述直杆电极（5）平行等间距布置，其中一组自左侧并联后中间位置连接射频电源，自右侧并联后中间位置接地，另一组置于该组直杆电极（5）中间，自右侧并联后中间位置连接射频电源，自左侧并联后中间位置接地；或双梳型布局为两组直杆电极（5）采用相互间隔设置的形式平行等间距布置，其中一组自左侧并联后中间位置连接射频电源，自右侧并联后中间位置接地，另一组自右侧并联后中间位置连接射频电源，自左侧并联后中间位置接地；U型布局为两组相同数量的所述直杆电极（5）平行等间距布置，其中一组所述直杆电极（5）置于另一组的上方，位于上方的一组所述直杆电极（5）左侧并联后于中间位置连接射频电源，位于下方的一组所述直杆电极（5）左侧并联后中间位置接地，位于上方的一组所述直杆电极（5）右侧并联中间位置与位于下方的所述直杆电极（5）右侧并联中间位置连通；双梳型与U型相结合布局为两组相同数量的所述直杆电极（5）平行等间距布置，其中一组自上方左侧并联中间位置连接射频电源，自下方左侧并联中间位置接地，另一组自上方右侧并联中间位置连接射频电源，自下方右侧并联中间位置接地；或者双梳型与U型相结合布局为两组相同数量的所述直杆电极（5）平行等间距布置，其中一组自上方左侧并联中间位置连接射频电源，自下方左侧并联中间位置接地，另一组自下方左侧并联中间位置连接射频电源，自上方左侧并联中间位置接地。

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