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申请/专利权人：恒迈光学精密机械(杭州)有限公司
摘要：本发明属于光学检测技术领域，涉及一种自由曲面透明件的光学等厚测试方法，该方法包括：采用三维扫描的方式得到元件靠近视场位置的内表面和远离视场的外表面坐标点位置；确定视场坐标位置；基于远离视场位置元件外表面坐标点位置向量，计算从视场发出追迹光线向量的；将内表面坐标点位置三角化，计算追迹光线和三角交点，并计算对应法向量；设定元件折射率为，计算折射向量；将内表面坐标点位置三角化，计算追迹光线和三角交点；计算元件表面的等厚误差。其有益效果是，测试精度高，测试方式简单，同时可以完成整个元件表面的等厚表征。
主权项：1.一种自由曲面透明件的光学等厚测试方法，其特征在于，包括：采用三维扫描的方式得到元件靠近视场位置的内表面和远离视场的外表面坐标点位置和；确定视场坐标位置；基于远离视场位置元件外表面坐标点位置向量，计算从视场发出追迹光线向量的；将内表面坐标点位置三角化，计算追迹光线和三角交点，并计算对应法向量；设定元件折射率为，计算折射向量；将外表面坐标点位置三角化，计算追迹光线和三角交点；根据如下公式计算元件表面的等厚误差： 。
全文数据：
权利要求：
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