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申请/专利权人：安徽光智科技有限公司

摘要：本发明公开了尾气净化处理技术领域的一种制备硫化锌化学气相沉积系统中尾气处理装置，包括：喷淋塔，尾气进入喷淋塔内进行喷淋处理；分流器，所述分流器与所述喷淋塔连接，尾气经过喷淋处理后的残留物通过喷淋塔进入到分流器内，分流器根据条件对残留物进行分流；换热器，所述换热器与所述分流器连接，通过分流器将残留物分流到换热器的内腔进行加热处理，该种制备硫化锌化学气相沉积系统中尾气处理装置，通过分流器将尾气净化后剩余的需要进行加热处理的残留物输送到换热器内进行加热，加热后再输送回喷淋塔对尾气进行净化处理，保障喷淋塔对尾气吸收的效率，避免硫化氢气体的泄漏，保障尾气处理安全。

主权项：1.一种制备硫化锌化学气相沉积系统中尾气处理装置，其特征在于：包括：喷淋塔（100），尾气进入喷淋塔（100）内进行喷淋处理，喷淋塔使用的喷淋液为氢氧化钠，尾气为硫化氢，其反应公式为NaOH+H2S=Na2S+2H2O，反应后的残留物为硫化钠和水；分流器（200），所述分流器（200）与所述喷淋塔（100）连接，尾气经过喷淋处理后的残留物通过喷淋塔（100）进入分流器（200）内，分流器（200）根据条件对残留物进行分流，所述分流器（200）包括：四通管（210），所述四通管（210）是由一个进口和三个出口组成；第一分流管道（220），所述第一分流管道（220）设置在所述四通管（210）的一个出口上；第二分流管道（230），所述第二分流管道（230）设置在所述四通管（210）的另一出口上；第三分流管道（250），所述第三分流管道（250）设置在所述四通管（210）最后一个出口上；换热器（300），所述换热器（300）与所述分流器（200）连接，通过分流器（200）将残留物分流到换热器（300）的内腔进行加热处理；循环液槽（400），所述循环液槽（400）分别与第一分流管道（220）、第二分流管道（230）和换热器（300）连接，通过第一分流管道（220）、第二分流管道（230）和换热器（300）分别将残留物输送到循环液槽（400）内腔进行循环利用；所述分流器（200）对残留物分流的条件如下：当循环液槽（400）内腔的氢氧化钠溶液温度大于15℃且pH值大于10时，通过第一分流管道（220）将残留物输送到循环液槽（400）的内腔；当循环液槽（400）内腔的氢氧化钠溶液的温度大于15℃且pH值小于10时，通过第二分流管道（230）将残留物输送到循环液槽（400）的内腔；当循环液槽（400）内腔的氢氧化钠溶液的温度小于5℃时，通过第三分流管道（250）将残留物输送到换热器（300）内进行加热后输送到循环液槽（400）的内腔。

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