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申请/专利权人：韩国生产技术研究院
摘要：本发明涉及无机粉末的制造装置以及利用该装置的无机粉末的制造方法。根据本发明的一方面，提供一种无机粉末的制造装置，其包括：气化单元，其通过气化凝聚相前驱体以形成气相前驱体；部分析出单元，其使所述气化单元中形成的气相前驱体一部分以凝聚相析出；以及反应单元，其使所述部分析出单元中以凝聚相部分析出后剩下的剩余气相前驱体与反应气体反应并形成无机粉末，所述部分析出单元中的所述气相前驱体的平衡蒸汽压低于所述气化单元中形成的所述气相前驱体的蒸汽压，所述反应单元中的所述前驱体的平衡蒸汽压高于等于所述部分析出单元中以凝聚相部分析出后的气相前驱体的蒸汽压。
主权项：1.一种无机粉末的制造装置，包括：气化单元，其通过气化凝聚相前驱体以形成气相前驱体；部分析出单元，其使所述气化单元中形成的气相前驱体一部分以凝聚相析出；以及反应单元，其使所述部分析出单元中以凝聚相部分析出后剩下的剩余气相前驱体与反应气体反应并形成无机粉末，所述部分析出单元中的所述气相前驱体的平衡蒸汽压低于所述气化单元中形成的所述气相前驱体的蒸汽压，所述反应单元中的所述前驱体的平衡蒸汽压高于等于所述部分析出单元中以凝聚相部分析出后的气相前驱体的蒸汽压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 韩国生产技术研究院 无机粉末的制造装置及其制造方法
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