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申请/专利权人：江苏布里其曼科技股份有限公司

摘要：本发明涉及半导体加工的技术领域，特别涉及一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备及制造方法，其使用了一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，包括安装底板、支撑杆、安装轴、封边装置和驱动装置，所述的安装底板下端面靠近四个拐角处固定有多个支撑杆，安装底板上通过轴承转动安装有多个横向布置的安装轴，安装轴的上端连接有封边装置，其中一个安装轴的下侧连接有驱动装置。相比于现有技术，本发明设计了一种可通过调节以适应不同尺寸外延片的封边装置，提升了该制造加工设备的整体利用率和加工效率，并防止了外延片在进行旋转涂胶时光刻胶容易从外延片的表面外侧流出，节约了资源，同时使光刻胶分布的更加均匀，提升了外延片的加工质量。

主权项：1.一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，包括安装底板1、支撑杆2、安装轴3、封边装置4和驱动装置5，其特征在于：所述的安装底板1下端面靠近四个拐角处固定有多个支撑杆2，安装底板1上通过轴承转动安装有多个横向布置的安装轴3，安装轴3的上端连接有封边装置4，其中一个安装轴3的下侧连接有驱动装置5；其中：所述的封边装置4包括放置圆板41、限位槽42、滑移安装板43、工作腔44、滑槽45、滑移块46、封边条47、双向电动推杆48和调节机构49，安装轴3的上端连接有放置圆板41，放置圆板41的上端面开设有限位槽42，限位槽42的上方设置有滑移安装板43，且滑移安装板43滑动设置在放置圆板41的上端面，滑移安装板43的内部开设有工作腔44，工作腔44的两侧相对连通有滑槽45，滑槽45内滑动安装有滑移块46，滑移块46的上侧之间通过封边条47连接，且封边条47滑动设置于滑移块46内，封边条47的相对侧之间通过双向电动推杆48连接，双向电动推杆48通过安装座固定在滑移安装板43的一端，滑移安装板43的中部设置有调节机构49；所述的安装底板1上端面中间位置安装有L型安装架11，L型安装架11的上端通过气缸底座安装有气缸12，气缸12的顶出端连接有下压板13，下压板13上设置有多个出料管14，出料管14管口与放置圆板41中心位置一一对应，下压板13下端面远离L型安装架11的一侧安装有多个连接杆15，连接杆15与出料管14位于同一竖直平面，连接杆15的下端连接有送料块16；所述的调节机构49包括转轴491、锁紧器492、一号锥齿轮493、二号锥齿轮494、丝杠495、带动齿轮496和轮齿497，工作腔44内转动安装有转轴491，转轴491的上侧安装于锁紧器492内，锁紧器492安装在工作腔44内，转轴491的中部安装有一号锥齿轮493，一号锥齿轮493的两侧螺纹连接有相对设置的二号锥齿轮494，二号锥齿轮494远离一号锥齿轮493的一端固定有丝杠495，两侧的丝杠495分别螺纹连接于相对应的滑移块46下侧，丝杠495远离二号锥齿轮494的一端转动安装在滑槽45内，转轴491的下侧外壁上固定有带动齿轮496，限位槽42内的一侧面上均匀安装有轮齿497，带动齿轮496与轮齿497相互啮合。

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