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申请/专利权人：通威微电子有限公司
摘要：本发明提供了一种腐蚀炉及其控制方法，属于晶圆加工领域，腐蚀炉包括炉体、加热装置、多个腐蚀槽及控制器，炉体的底部设置有多个定位槽，加热装置包括输入支路、输出支路及多个并联的加热支路，多个加热支路两端分别连接于输入支路和输出支路，输入支路和输出支路分别用于连接电源，每个加热支路上均串联有加热电阻、可变电阻以及电子开关，多个加热电阻一一对应地设置于多个定位槽的底部，多个腐蚀槽能一一对应地放置于多个定位槽内以被对应的加热电阻加热，控制器同时与多个可变电阻和多个电子开关电连接，用于根据外部指令控制多个可变电阻和多个电子开关的工况，以控制多个加热电阻的加热功率，从而实现不同种类和尺寸的晶圆的同时腐蚀。
主权项：1.一种腐蚀炉，其特征在于，包括：炉体（100），所述炉体（100）的底部设置有多个定位槽（110）；加热装置（200），所述加热装置（200）包括输入支路（210）、输出支路（230）及多个并联的加热支路（220），多个所述加热支路（220）一端分别连接于所述输入支路（210），另一端分别连接于所述输出支路（230），所述输入支路（210）和所述输出支路（230）分别用于连接电源，每个所述加热支路（220）上均串联有加热电阻（224）、可变电阻（226）以及电子开关（222），多个所述加热电阻（224）一一对应地设置于多个所述定位槽（110）的底部；多个腐蚀槽（300），所述多个腐蚀槽（300）能一一对应地放置于所述多个定位槽（110）内以被对应的所述加热电阻（224）加热；控制器（400），所述控制器（400）同时与多个所述可变电阻（226）和多个所述电子开关（222）电连接，用于根据外部指令控制多个所述可变电阻（226）和多个所述电子开关（222）的工况，以控制多个所述加热电阻（224）的加热功率；升降装置（500）和夹持装置（600），所述升降装置（500）与所述控制器（400）电连接且与所述夹持装置（600）机械连接，所述夹持装置（600）用于夹持多个晶圆（800）以在所述升降装置（500）的驱动下将多个所述晶圆（800）一一对应地放入多个所述腐蚀槽（300）内。
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